[發明專利]涂敷裝置以及涂敷方法有效
| 申請號： | 200610136356.3 | 申請日： | 2006-10-13 |
| 公開（公告）號： | CN1949079A | 公開（公告）日： | 2007-04-18 |
| 發明（設計）人： | 池田文彥;池本大輔;吉富濟 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 以及 方法 | ||
【權利要求書】：
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