[發明專利]光學式檢測傳感器

無效

• 申請號: 200610136047.6
• 申請日: 2006-10-20
• 公開（公告）號: CN101165459A
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: 堀本啟一;坂元明;奧出聰
• 申請（專利權）人: 株式會社藤倉
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;G01D5/353
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 鐘強;關兆輝

1.一種光學式檢測傳感器，其中，

至少具有：光源；

第一光纖，對從上述光源輸出的出射光進行導光；

第二光纖及第三光纖，將上述出射光照射到距上述第一光纖的端面相對距離而配置的被測定物上，接收由該被測定物反射的反射光；

第一受光元件及第二受光元件，分別接收在上述第二光纖及上述第三光纖內導光的反射光，并變換為電信號；和

運算處理單元，根據由上述第一受光元件及上述第二受光元件變換的電信號的比率，計算出上述被測定物的變位量，

上述第一光纖被配置為：該第一光纖的長度方向和上述被測定物相對于照射面的法線呈角度θ，

上述第二光纖及上述第三光纖被平行配置，且被配置為：該第二光纖及該第三光纖的長度方向和上述被測定物相對于照射面的法線呈角度θ，

上述第一光纖和、上述第二光纖及上述第三光纖，隔著上述法線相對配置，

上述第一至第三光纖，具有相對于上述光源的輸出波長，dNA/dλ為4×10^-5以下的特性。

2.根據權利要求1所述的光學式檢測傳感器，其中，

具有V槽陣列基板，其具有以將第一至第三光纖的芯配置在同一平面上的方式形成的第一至第三V槽，

固定配置在上述V槽中的上述第一至第三光纖的端面、及上述V槽陣列基板的端面位于同一平面上，且該端面在相對于上述法線垂直的方向上形成。

3.根據權利要求1或2所述的光學式檢測傳感器，其中，上述第一光纖和上述法線所呈的角度θ、以及上述第二光纖及上述第三光纖和上述法線所呈的角度θ，為5°＜θ≤10°。

4.根據權利要求1至3的任意一項所述的光學式檢測傳感器，其中，

當作為上述光源適用發光二極管時，

在上述光源和上述第一光纖之間設置帶通濾波器，其透過中心波長與該發光二極管在0℃時的光強度光譜的峰值波長相比位于長波處，且具有1nm以上20nm以下的頻帶寬度。

5.根據權利要求1至4的任意一項所述的光學式檢測傳感器，其中，上述第一至第三光纖，在上述光源的輸出波長下的數值孔徑NA為0.1以上0.15以上。

6.根據權利要求1至5的任意一項所述的光學式檢測傳感器，其中，上述第一至第三光纖，在上述光源的輸出波長下的模場直徑為7.9μm以上9.3μm以下。