[發(fā)明專利]成膜裝置的使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610135715.3 | 申請日： | 2006-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN1958878A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 野呂尚孝;戶根川大和;藤田武彥;木村法史 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | C30B25/00 | 分類號： | C30B25/00;C23C16/00;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京紀(jì)凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝置 使用方法 | ||
【說明書】：
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