[發明專利]硬質保護膜及其形成方法無效
| 申請號： | 200610135654.0 | 申請日： | 2006-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN101012545A | 公開（公告）日： | 2007-08-08 |
| 發明（設計）人： | 山本兼司;久次米進 | 申請（專利權）人： | 株式會社神戶制鋼所 |
| 主分類號： | C23C14/22 | 分類號： | C23C14/22;C23C14/06;B23B27/14;B23B51/00;B23C5/16;B21D28/34;B21J13/02 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳平 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硬質 保護膜 及其 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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