[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效
| 申請號： | 200610135634.3 | 申請日： | 2006-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN1967872A | 公開（公告）日： | 2007-05-23 |
| 發明（設計）人： | 小川久;內藤康志;工藤千秋 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 李貴亮 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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