[發明專利]制造高密度圖案化介質上的伺服圖案的裝置、方法和系統無效
| 申請號： | 200610135573.0 | 申請日： | 2006-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN1953065A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發明（設計）人： | 托馬斯·R·阿爾布雷克特;茲瓦尼米爾·Z·班迪克 | 申請（專利權）人： | 日立環球儲存科技荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G11B5/84 | 分類號： | G11B5/84;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 張波 |
| 地址： | 荷蘭阿*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 高密度 圖案 介質 伺服 裝置 方法 系統 | ||
【說明書】：
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