[發明專利]差壓/絕壓/溫度三參數單片集成傳感器芯片及其制備方法有效
| 申請號： | 200610134820.5 | 申請日： | 2006-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN1974372A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發明（設計）人： | 唐慧;陳信琦;李長春;祝永峰 | 申請（專利權）人： | 沈陽儀表科學研究院 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02;G01L1/18;G01K7/16;B81C1/00;B81C3/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 沈陽科威專利代理有限責任公司 | 代理人： | 崔紅梅 |
| 地址： | 110043遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 絕壓 溫度 參數 單片 集成 傳感器 芯片 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于沈陽儀表科學研究院，未經沈陽儀表科學研究院許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610134820.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
