[發(fā)明專利]一種硬脆晶體基片超精密磨削砂輪有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610134248.2 | 申請日： | 2006-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN1951635A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 康仁科;田業(yè)冰;郭東明;金洙吉;高航 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | B24D5/00 | 分類號： | B24D5/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 | 代理人： | 關(guān)慧貞 |
| 地址： | 116024遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 晶體 基片超 精密 磨削 砂輪 | ||
【權(quán)利要求書】：
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