[發明專利]檢查電路的方法以及檢查電路的系統

無效

• 申請號: 200610130977.0
• 申請日: 2006-12-15
• 公開（公告）號: CN101430362A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 埃維·列維;拉菲·阿米特
• 申請（專利權）人: 卡姆特有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 郭思宇

相關申請

本申請要求2005年12月17日申請的序列號為60/749,052的美國臨時專利 的優先權。

技術領域

本發明涉及檢查電路的系統和方法領域。

背景技術

如印刷電路板和晶片的電路是通過非常復雜的制造過程制造的。在這些制 造過程期間會出現不同類型的缺陷，典型地要檢查該電路，甚至要經歷檢驗過 程，以便保證它們的質量。

該檢查過程通常包括將電路載入檢查系統，檢查該電路，然后從該檢查系 統卸載該電路。

在許多檢查系統中，需要操作者手動地裝載和卸載電路，因而顯著地減慢 了該檢查過程。另一方面，完全自動的檢查系統很復雜，并且非常昂貴。

存在用于縮短上述操作所需的時間的增長的需要。

發明內容

一種系統，包括：第一表面，第二表面，第三表面，以及多目標傳送器； 其中該多目標傳送器適于抓住放置在該第一表面上的預檢查電路，適于抓住放 置在第二表面上的在前檢查的電路，并且適于同時將該預檢查電路傳送到該第 二表面以及將該在前檢查的電路傳送到該第三表面；其中該系統適于檢查放置 在該第二表面上的電路。

一種用于檢查電路的方法，該方法包括：在第一表面接收預檢查電路；通 過多目標傳送器抓住該預檢查電路以及放置在第二表面上的在前檢查的電路； 同時將該預檢查電路傳送到該第二表面和將該在前檢查的電路傳送到第三表 面；以及檢查該預檢查電路。

一種系統，包括：第一檢驗站，第二檢驗站，在該第一和第二檢驗站之間 定位的第二表面，以及多目標傳送器；其中該多目標傳送器適于抓住放置在該 第二表面上的預檢查電路，同時保持在該預檢查電路之前就檢查的在前檢查的 電路；其中該多目標傳送器適于在第一方向上移動，以便將該預檢查電路提供 到該第一檢驗站，并且適于在與該第一方向相反的第二方向上移動，以便將該 在前檢查的電路提供到該第二檢驗站。

附圖說明

在此參照附圖，僅通過舉例的方式描述本發明。現在在細節上具體參照附 圖，需要強調的是：通過舉例的方式表示該細節，僅是為了本發明優選實施方 式的說明性論述，并且表示其是為了提供相信是對本發明的原理和概念方面最 有用且容易理解的描述。在這點上，除了對本發明基本理解所必須的，未嘗試 更詳細地表示本發明的結構細節，該結合附圖的描述使得如何在實踐中具體化 本發明幾種不同的形式對本領域的技術人員來說是顯而易見的。

在該附圖中：

附圖1-8表示根據本發明不同實施方式的系統；以及

附圖9-10是根據本發明不同實施方式的檢查電路的流程圖。

具體實施方式

根據本發明的不同實施方式，提供一種系統。該系統包括一組設備，其適 于載入如電路的目標，并且適于卸載該檢查的目標。該組設備包括掃描系統的 檢查臺。將該檢查系統方便地包括在該系統中。

下面的描述涉及多目標傳送器，該多目標傳送器沿第一軸執行線性運動。 可以注意到，根據本發明的另一實施方式，該多目標傳送器可以沿多個軸移動， 并且可以執行非線性運動。該多目標傳送器例如可以沿假想的x軸和假想的y 軸移動。這種運動可以提供不必要的第一和/或第三表面的y軸運動。

參照附圖和伴隨的描述可以更好地理解該組設備的原理和操作。

附圖1表示根據本發明實施方式的系統8。系統8包括檢查系統12以及不 同的元件(也稱作設備)，其將電路載入檢查系統12，并且從檢查系統12卸載 電路。

系統10包括：(i)第一表面，如第一臺10的上表面10′(或擱板)；(ii) 第二表面，如掃描臺12a的上表面12′；(iii)第三表面，第二臺11的上表面 11′(或擱板)；以及(iv)多目標傳送器，如雙夾具14。

方便地，第二表面12a屬于光學檢查系統12，其適于檢查放置在第二表面 12a上的電路，以便定位可能的缺陷，并且確定它們的位置。光學檢查系統12 通常包括放置在第二表面12a之下的照明模塊，以及放置在第二表面12a之上 的檢測模塊。這種構造適合如印刷電路板、掩模等的透明電路的檢查。可以注 意到，該檢查系統還可以在反射和/或散射光的基礎上執行檢查。這種檢查適合 于如晶片的不透明的電路。