[發明專利]分離柵極式存儲單元及其形成方法無效
| 申請號: | 200610129199.3 | 申請日: | 2006-09-12 |
| 公開(公告)號: | CN101034721A | 公開(公告)日: | 2007-09-12 |
| 發明(設計)人: | 黃成銘;宋弘政;朱文定;謝章仁;高雅媜 | 申請(專利權)人: | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/788 | 分類號: | H01L29/788;H01L29/423;H01L27/115;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/8247 |
| 代理公司: | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人: | 陳晨 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 分離 柵極 存儲 單元 及其 形成 方法 | ||
【說明書】:
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