[發明專利]基板處理裝置、負載鎖定室單元和搬送裝置的搬出方法有效
| 申請號： | 200610128924.5 | 申請日： | 2006-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN1924660A | 公開（公告）日： | 2007-03-07 |
| 發明（設計）人： | 中込陽一;中山秀樹 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/1333 | 分類號： | G02F1/1333;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 負載 鎖定 單元 搬出 方法 | ||
【說明書】：
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