[發明專利]抗蝕劑除去方法以及抗蝕劑除去裝置有效
| 申請號： | 200610125701.3 | 申請日： | 2006-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN1920673A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | 和田昌之 | 申請（專利權）人： | 大日本網目版制造株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐恕 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑 除去 方法 以及 裝置 | ||
【權利要求書】：
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