[發明專利]可主動冷卻的基板支撐件有效
| 申請號： | 200610121501.0 | 申請日： | 2006-08-15 |
| 公開（公告）號： | CN1919768A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | S·里昂;S·H·趙;W·A·巴格雷 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/00 | 分類號： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陸嘉 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 主動 冷卻 支撐 | ||
【說明書】：
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