[發明專利]超聲波探測器及其應用于液面探測的方法

有效

• 申請號: 200610119135.5
• 申請日: 2006-12-05
• 公開（公告）號: CN101196563A
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 何刃;李瑞青
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G01S7/521
• 分類號: G01S7/521;G01S15/08;G01F23/296;B08B3/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種超聲波探測器，包括電子部件和傳感器，其特征在于還包括一清洗管，所述清洗管至少具有一個開口指向所述傳感器表面。

2.如權利要求1所述的超聲波探測器，其特征在于：所述清洗管沿所述傳感器表面外圍放置，在所述清洗管面向所述傳感器表面方向的側壁有復數個開口。

3.如權利要求2所述的超聲波探測器，其特征在于：所述清洗管為圓環形。

4.如權利要求2所述的超聲波探測器，其特征在于：所述清洗管為半圓環形或圓弧形中的一種。

5.如權利要求3或4所述的超聲波探測器，其特征在于：所述清洗管與沿所述傳感器側壁放置的第一供給管路連接。

6.如權利要求5所述的超聲波探測器，其特征在于：在所述第一供給管路上設置有第一控制閥，所述電子部件向所述第一控制閥發送控制信號控制所述第一供給管路向所述清洗管供給清洗液。

7.如權利要求4所述的超聲波探測器，其特征在于：所述超聲波探測器還包括一干燥管，在所述干燥管上至少具有一開口指向所述傳感器表面。

8.如權利要求7所述的超聲波探測器，其特征在于：所述干燥管為半圓環形或弧形中的一種，在所述干燥管的內側設置有復數個開口，所述干燥管放置于所述清洗管沿所述傳感器表面法線對稱的位置。

9.如權利要求8所述的超聲波探測器，其特征在于：所述干燥管與沿所述傳感器側壁放置的第二供給管路連接。

10.如權利要求9所述的超聲波探測器，其特征在于：在所述第二供給管路上設置有第二控制閥，所述電子部件向所述第二控制閥發送控制信號控制所述第二供給管路向所述干燥管供給干燥氣體。

11.一種應用權利要求1所述的超聲波探測器探測液面的方法，包括：

向液面發送超聲波信號，并接收所述液面的反射信號；

根據所述發送信號和所述反射信號的時間差計算所述液面的位置；

判斷第n+1次與第n次測得的位置之差是否大于設定的閾值，若所述位置之差不大于所述閾值，繼續向所述液面發送超聲波信號并計算所述液面位置；

若所述位置之差大于設定的閾值，向所述超聲波探測器的傳感器表面噴灑清洗液，并干燥所述傳感器表面，再次向所述液面表面發送超聲波信號，計算所述液面的位置，并判斷該次測得的位置與第n次測得的位置之差是否大于所述閾值，若所述位置之差不大于所述閾值，繼續向所述液面發送超聲波信號并計算所述液面的位置；

若所述位置之差大于所述閾值，發出液面位置高出設定范圍的報警信號；

其中，所述n為自然數。

12.如權利要求11所述的方法，其特征在于：所述清洗液為去離子水或自來水中的一種。

13.如權利要求12所述的方法，其特征在于：所述清洗液的流量為0.1至11pm。

14.如權利要求11所述的方法，其特征在于：所述噴灑清洗液的時間為5至60s。

15.如權利要求11所述的方法，其特征在于：所述干燥的方法為自然涼干或用干燥氣體吹干。

16.如權利要求15所述的方法，其特征在于：所述干燥氣體為壓縮干空氣或氮氣中的一種。

17.如權利要求15所述的方法，其特征在于：所述干燥氣體的流量為0.1至1sccm，干燥時間為1至60s。