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[發明專利]一種生長在藍寶石襯底上的復合緩沖層及制備方法無效

專利信息
申請號: 200610117009.6 申請日: 2006-10-11
公開(公告)號: CN1945863A 公開(公告)日: 2007-04-11
發明(設計)人: 陳平平;陸衛;劉昭麟;李天信;王少偉;陳效雙 申請(專利權)人: 中國科學院上海技術物理研究所
主分類號: H01L33/00 分類號: H01L33/00;H01L31/0304;H01L29/20;H01L21/20
代理公司: 上海智信專利代理有限公司 代理人: 郭英
地址: 20008*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 生長 藍寶石 襯底 復合 緩沖 制備 方法
【說明書】:
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