[發明專利]探針卡

有效

• 申請號: 200610116914.X
• 申請日: 2006-10-08
• 公開（公告）號: CN101158700A
• 公開（公告）日: 2008-04-09
• 發明（設計）人: 黃海華;杜發魁;繆小波
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧繼光

技術領域

本發明涉及集成電路工藝領域，尤其是一種集成電路測試領域中的探針卡。

背景技術

探針卡是集成電路工藝領域重要器件，應用在集成電路尚未封裝之前，針對晶圓以探針做功能測試，選出不合格產品再進行后續的封裝工程，避免不良產品繼續加工而造成浪費。它負責測試系統與集成電路芯片之間的電氣連接。探針卡上有很多探針，在測試時，探針卡上的探針與晶圓上的焊墊接觸，對晶圓輸出信號或者測試晶圓信號輸出值。

如圖1所示，現有的探針卡包括下固定板1，位于下固定板上方的上固定板3，位于上下固定板之間并在其之間留有空間的支撐件2，通過陶瓷圈4和開口槽7相連接的印刷電路板8，在上下固定板和陶瓷圈4之間起固定作用的彈性固件5，連接印刷電路板8和探針裝置的的支柱6，探針9。現有的探針卡中探針9為垂直的。

現有的集成電路設計中產品多樣、并且同一個產品也會進行多次改版，由于現有的探針卡中的探針時垂直的，探針的位置是固定的，因此每一次焊墊的變更都需要再做一次探針卡，這樣既增加測試的時間成本同時也增加了測試的材料和人工成本，降低了生產率。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種探針卡，能夠克服集成電路測試中垂直探針造成的每次更換焊墊都需要重新做一個探針卡的不足，使每次焊墊變更都可以用同一張探針卡稍做修改即可進行測試，從而節約生產成本，提高生產效率。

為解決上述技術問題，本發明探針卡所采用的技術方案是，包括下固定板，位于下固定板上方的上固定板，位于上下固定板之間并在其之間留有空間的支撐件，通過陶瓷圈和開口槽相連接的印刷電路板，在上下固定板和陶瓷圈之間起固定作用的彈性固件，連接印刷電路板和探針裝置的固件，探針，所述探針的底部和探針本體成一角度。

本發明探針卡的探針底部和探針本體成一角度，同一個探針在焊墊上扎針的直徑和位置可以調整，可以使探針針對不規則的焊墊進行扎針。本發明可使集成電路設計時焊墊位置選擇不再受局限。并且可以針對焊墊的多少而決定所用的探針數量并能方便的替換。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明：

圖1為現有探針卡結構示意圖；

圖2為本發明探針卡結構示意圖；

圖3為本發明探針卡中探針與焊墊接觸時探針方向和角度示意圖；

圖4為本發明探針卡中探針與焊墊接觸示時探針方向和角度意圖；

具體實施方式

如圖2所示，本發明的探針卡包括下固定板10，位于下固定板上方的上固定板30，位于上下固定板之間并在其之間留有空間的支撐件20，通過陶瓷圈40和開口槽70相連接的印刷電路板80，在上下固定板和陶瓷圈40之間起固定作用的彈性固件50，連接印刷電路板80和探針裝置的支柱60，支柱60中間有螺紋，探針90，其中的探針90的底部和探針本體成一可調整的角度，該角度為銳角。

如圖3、圖4所示，本發明探針卡的斜探針500、510在分別和焊墊600、610接觸時不是垂直接觸，而是呈一個角度α，α為斜探針彎曲的角度，斜探針的方向360度變換。探針的彎曲程度與圖3、圖4中的α角的大小有關，因為α角的不一樣，可以做一個系列的不同α角度的斜探針，在圖3、圖4中的圓可有不同的直徑。

本發明探針卡的探針的尾部和探針本體成一角度，通過調整該角度和探針的方向同一探針可以扎到不同位置的焊墊，可使集成電路設計時焊墊位置選擇不再受局限，并且可以針對焊墊的多少而決定所用的探針數量并能方便的替換，從而可以節約生產成本，提高生產效率。