[發(fā)明專利]一種硼磷硅玻璃膜回流方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610116167.X | 申請(qǐng)日： | 2006-09-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101148326A | 公開（公告）日： | 2008-03-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 常建光;周永昌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C03C17/02 | 分類號(hào)： | C03C17/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 硼磷硅 玻璃 回流 方法 | ||
1.一種硼磷硅玻璃膜(BPSG)回流方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
將沉積了硼磷硅玻璃膜的晶片裝入爐管；
通過干回流(Dry?Reflow)軟化硼磷硅玻璃膜；
通過濕回流(Wet?Reflow)填充硼磷硅玻璃膜中的空隙。
2.如權(quán)利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的過程中需要持續(xù)充入氮?dú)狻?/p>
3.如權(quán)利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的過程中需要在通入氮?dú)獾耐瑫r(shí)加溫。
4.如權(quán)利要求3所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述干回流的過程中加溫使溫度升至預(yù)定溫度，在5分鐘到15分鐘之后停止氮?dú)獾耐ㄈ搿?/p>
5.如權(quán)利要求4所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述預(yù)定溫度為600℃～900℃。
6.如權(quán)利要求1所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述濕回流的過程中需要同時(shí)充入氫氣和氧氣。
7.如權(quán)利要求1或5所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述濕回流的溫度保持干回流時(shí)的預(yù)定溫度不變。
8.如權(quán)利要求6所述的硼磷硅玻璃膜回流方法，其特征在于：所述濕回流持續(xù)5分鐘到15分鐘之后停止氫氣和氧氣的通入。
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