[發明專利]電磁－壓阻式微機械諧振梁傳感器無效
| 申請號： | 200610114276.8 | 申請日： | 2006-11-03 |
| 公開（公告）號： | CN1945215A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | 樊尚春;邢維巍;蔡晨光 | 申請（專利權）人： | 北京航空航天大學 |
| 主分類號： | G01D5/12 | 分類號： | G01D5/12;G01H11/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 賈玉忠;盧紀 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電磁 式微 機械 諧振 傳感器 | ||
【說明書】：
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