[發明專利]一種功能梯度結構的壓電驅動器件及其制備方法無效
| 申請號： | 200610114005.2 | 申請日： | 2006-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN1945869A | 公開（公告）日： | 2007-04-11 |
| 發明（設計）人： | 張海龍;張波萍;王丹 | 申請（專利權）人： | 北京科技大學 |
| 主分類號： | H01L41/08 | 分類號： | H01L41/08;H01L41/18;H01L41/22;H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京科大華誼專利代理事務所 | 代理人： | 劉月娥 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 功能 梯度 結構 壓電 驅動 器件 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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