[發明專利]一種直拉硅單晶爐的熔硅液面位置的控制方法無效
| 申請號： | 200610113979.9 | 申請日： | 2006-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN101168848A | 公開（公告）日： | 2008-04-30 |
| 發明（設計）人： | 戴小林;吳志強;周旗鋼;張果虎;王學鋒 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 10008*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直拉硅單晶爐 液面 位置 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種直拉硅單晶爐的熔硅液面位置的控制方法，其特征在于：
它采用CCD成像系統，從直拉硅單晶爐的觀測窗口觀測到硅單晶爐熱屏內口的圖像和熱屏內口在硅液面上的倒影；經模-數轉換，將數據輸入計算機并運算，獲得熱屏底面與該液面的距離D值，經運算、數-模轉換，再通過控制電路、驅動電路調節堝升速度，以控制熔硅液面位置。
2.根據權利要求1所述的一種直拉硅單晶爐的熔硅液面位置的控制方法，其特征在于：
(1)、采集圖像：從直拉硅單晶爐爐蓋上的觀察孔通過CCD成象儀的光學系統獲取圖像數據，該圖像包括熱屏內口的圖像和熱屏內口在硅液面上的倒影；
(2)、將上述兩呈橢圓形的圖像與垂直線的交點的座標值的數據輸入計算機并運算，獲得熱屏底面與該液面的距離D值，并顯示；
(3)、將D值與原設定的D0值作比較，得出差值；
(4)、將D-D0差值輸入模-數轉換器，換算成控制堝升電機升速的電信號，通過控制電路、驅動電路調節堝升速度；
(5)、堝升速度反饋至反饋電路，并將升速的增量進行積分，并得到實際的D值；
(6)計算機計算D-D0差值，如果它為0，則保持堝升電機的速度與晶升速度的比例不變；如果不是0，則相應地增加(差值為負時)或降低(差值為正時)這個比例。
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