[發明專利]一種制備多級硅納米器件的方法無效
| 申請號： | 200610113196.0 | 申請日： | 2006-09-19 |
| 公開（公告）號： | CN1919720A | 公開（公告）日： | 2007-02-28 |
| 發明（設計）人： | 張錦;張瑩瑩;劉忠范;羅剛 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | B82B3/00 | 分類號： | B82B3/00;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 關暢;任鳳華 |
| 地址： | 100871北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 多級 納米 器件 方法 | ||
【權利要求書】：
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