[發明專利]襯底支撐的加熱和冷卻有效
| 申請號： | 200610109513.1 | 申請日： | 2006-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN1907897A | 公開（公告）日： | 2007-02-07 |
| 發明（設計）人： | 稻川真;細川明廣 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | C03C17/00 | 分類號： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 趙飛 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 支撐 熱和 冷卻 | ||
【權利要求書】：
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