[發明專利]基板校準裝置,基板處理裝置及基板搬運裝置無效
| 申請號： | 200610109166.2 | 申請日： | 2003-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN1916718A | 公開（公告）日： | 2007-02-21 |
| 發明（設計）人： | 立山清久;元田公男;巖崎達也 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G02F1/1333 | 分類號： | G02F1/1333;G02F1/13;B65G49/06 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張天安 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 校準 裝置 處理 搬運 | ||
【說明書】：
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