[發明專利]光刻接觸元件無效
| 申請號： | 200610108541.1 | 申請日： | 1999-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN1900725A | 公開（公告）日： | 2007-01-24 |
| 發明（設計）人： | G·L·馬蒂厄;B·N·埃爾德里奇;G·W·格魯布 | 申請（專利權）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R3/00;H01L23/48;H01L21/48 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 接觸 元件 | ||
【權利要求書】：
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