[發明專利]鋼瓶拆卸安全裝置

無效

• 申請號: 200610107740.0
• 申請日: 2006-07-21
• 公開（公告）號: CN101109480A
• 公開（公告）日: 2008-01-23
• 發明（設計）人: 簡明芳
• 申請（專利權）人: 漢科系統科技股份有限公司
• 主分類號: F17C13/00
• 分類號: F17C13/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 趙燕力

技術領域

本發明有關一種安全裝置，特別是一種應用于鋼瓶拆卸的安全裝置。

背景技術

氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色，其中離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產品優良率有著決定性的影響。氣體一般可簡單的區分為大宗氣體(BulkGases)，如N2、H2、O2、Ar等使用量較大的氣體，和特殊氣體(SpecialtyGases)，如SiH4、AsH3、PH3等以鋼瓶供應的氣體。

圖1A是先前技術的氣體鋼瓶接合于制程設備前的示意圖，一氣體鋼瓶10包括：一鋼瓶主體12；一旋鈕14；及一接頭16，其中，鋼瓶主體12儲存制程需要使用的氣體，旋鈕14與位于氣體鋼瓶10內部的一鋼瓶閥(圖中未示)連接，當旋鈕14旋緊時鋼瓶閥關閉，氣體密閉于鋼瓶主體12以內，當旋鈕14松開時鋼瓶閥打開，氣體可經由接頭16輸送至外界。

請再參考圖1A，一進氣導管22的一端固定并連通于一制程設備20，另一端則具有一固定件24可與接頭16接合以連接并固定氣體鋼瓶10。圖1B是先前技術的氣體鋼瓶已接合于制程設備的示意圖，固定件24固定并連通接頭16與進氣導管22，此時若旋鈕14松開則氣體可經由接頭16與進氣導管22輸送至制程設備20供其使用。

特殊氣體鋼瓶所承裝的氣體通常具有毒性、腐蝕性、或自燃性等特性，而氣體供應的安全性則關系到人員的生命與健康以及廠房、設備運作的安全。

因為氣體是生產制程的耗材，所以使用一段時間后需要更換氣體鋼瓶，其程序包括拆卸舊的氣體鋼瓶及安裝新的氣體鋼瓶，在拆卸舊的氣體鋼瓶時常易發生人為疏失，亦即，在未關閉鋼瓶閥的情況下即進行拆卸，則鋼瓶內的殘余氣體將外泄而可能造成操作人員的傷害或火災等公共危險。

因此，氣體鋼瓶的更換具有安全上的盲點：1.換裝鋼瓶時，操作人員的人為疏失無法控制；2.鋼瓶是否先關閉鋼瓶閥再松開接合接頭與進氣導管的固定件，目前并無法控制；3.操作人員未按照標準操作程序操作時無法制止。

發明內容

本發明的目的在于提供一種鋼瓶拆卸安全裝置，確保更換氣體鋼瓶時須先將鋼瓶閥關閉，避免發生先前技術在未關閉鋼瓶閥的情況下進行拆卸氣體鋼瓶，使殘余氣體外泄而造成操作人員傷害或火災等公共危險的情況。

本發明的另一目的在于提供一種鋼瓶拆卸安全裝置，其作動具有下列特點：1.更換氣體鋼瓶時須先將鋼瓶閥關閉；2.如未關閉氣體鋼瓶的鋼瓶閥，鋼瓶拆卸安全裝置無法卸除；3.氣體鋼瓶的鋼瓶閥關閉時，鋼瓶拆卸安全裝置會自動解除鎖定并可予以卸除。

本發明的又一目的在于提供一種鋼瓶拆卸安全裝置，具有下列特點：1.換裝氣體鋼瓶時，可百分之百確定鋼瓶閥是否已關閉；2.鋼瓶拆卸安全裝置以氣動方式作動；3.鋼瓶拆卸安全裝置的機械結構與操作步驟簡單。

本發明的目的是這樣實現的，一種鋼瓶拆卸安全裝置，包含：

一主體，該主體包含：一上件；一底件設置于該上件的下方；至少一用以樞接該上件與該底件的樞接件，且該上件與該底件可繞該樞接件轉動與開闔；

一第一空間以包覆一固定件，該固定件用以固定并連通一氣體鋼瓶的一接頭與一制程設備的一進氣導管；

一活塞，設置于該主體內且可移動；

一引管用以引進與排出該主體的空氣；

一套環連接于該主體外側且其具有一中空部分；

其中，當空氣經由該引管進入該主體后，該活塞會突出該主體之外并穿過該套環的該中空部分，使得該套環卡住該活塞而無法打開該主體的所述上件與底件，當空氣經由該引管排出該主體后，該活塞的整體可移入該主體內且該主體的所述上件與該底件可自由開闔。

該主體具有一第二空間以容置與該固定件連接的部分進氣導管。

該主體與該套環的材質分別為塑料或金屬其中的至少任一種。

該套環連接于該主體的所述上件的外側。

該主體的所述上件與該套環是以一體成型的方法所制作。

該套環連接于該主體的所述下件的外側。

該主體的所述下件與該套環是以一體成型的方法所制作。

該樞接件為一鉸鏈。

該活塞容置于主體的上件的內部。

該活塞容置于主體的下件的內部。

本發明的目的還可以這樣實現的，一種鋼瓶拆卸安全裝置，包含：

一主體，該主體包含：一上件；一底件設置于該上件的下方；至少一樞接件用以樞接該上件與該底件，且該上件與該底件繞該樞接件轉動與開闔；