[發明專利]濺射裝置和濺射方法有效
| 申請號： | 200610107628.7 | 申請日： | 2006-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN1904133A | 公開（公告）日： | 2007-01-31 |
| 發明（設計）人： | 小林大士;谷典明;小松孝;清田淳也;中村肇;新井真 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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