[發明專利]曝光方法有效
| 申請號： | 200610106374.7 | 申請日： | 2006-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN1896877A | 公開（公告）日： | 2007-01-17 |
| 發明（設計）人： | 辻田好一郎 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 許海蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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【權利要求書】：
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