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[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效

專利信息
申請號: 200610105563.2 申請日: 2006-07-18
公開(公告)號: CN1956194A 公開(公告)日: 2007-05-02
發明(設計)人: 工藤千秋;小川久 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L27/02 分類號: H01L27/02;H01L27/085;H01L27/12;H01L23/522;H01L21/82;H01L21/8232;H01L21/84;H01L21/768
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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