[發明專利]基于自支撐SiC的GaN器件及制作方法有效
| 申請號： | 200610105132.6 | 申請日： | 2006-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN1971943A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 郝躍;張進程;陳軍峰 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L29/778 | 分類號： | H01L29/778;H01L29/737;H01L33/00;H01L21/335;H01L21/331;H01L21/20 |
| 代理公司： | 陜西電子工業專利中心 | 代理人： | 王品華;黎漢華 |
| 地址： | 71007*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 支撐 sic gan 器件 制作方法 | ||
【說明書】：
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