[發明專利]鋯鈦酸鉛薄膜紅外熱成像探測器懸空結構的制作方法無效
| 申請號： | 200610104433.7 | 申請日： | 2006-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN1889284A | 公開（公告）日： | 2007-01-03 |
| 發明（設計）人： | 劉衛國;蔡長龍;劉歡;張偉;周順 | 申請（專利權）人： | 西安工業大學 |
| 主分類號： | H01L37/02 | 分類號： | H01L37/02;H01L31/18;G01J5/10 |
| 代理公司： | 陜西電子工業專利中心 | 代理人： | 程曉霞 |
| 地址： | 710032*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鋯鈦酸鉛 薄膜 紅外 成像 探測器 懸空 結構 制作方法 | ||
【說明書】：
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