[發(fā)明專利]基片存放容器的干式清洗裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610101810.1 | 申請(qǐng)日： | 2006-07-11 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1990127A | 公開（公告）日： | 2007-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金世鎬;樸鐘秀;尹哲男 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B9/20 | 分類號(hào)： | B08B9/20;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 郭鴻禧;安宇宏 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 存放 容器 清洗 裝置 | ||
【說(shuō)明書】：
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