[發明專利]基板輸送裝置有效
| 申請號： | 200610100609.1 | 申請日： | 2006-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN1868839A | 公開（公告）日： | 2006-11-29 |
| 發明（設計）人： | 和歌月尊彥;西部幸伸 | 申請（專利權）人： | 芝浦機械電子株式會社 |
| 主分類號： | B65G49/06 | 分類號： | B65G49/06;G02F1/133 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輸送 裝置 | ||
【權利要求書】：
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