[發明專利]覆蓋精度測量游標及其形成方法無效
| 申請號： | 200610098828.0 | 申請日： | 2006-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN101034698A | 公開（公告）日： | 2007-09-12 |
| 發明（設計）人： | 沈貴潢 | 申請（專利權）人： | 海力士半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 楊生平;楊紅梅 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 覆蓋 精度 測量 游標 及其 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
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