[發(fā)明專利]霍爾型離子源無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610098167.1 | 申請日： | 2006-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN101197239A | 公開（公告）日： | 2008-06-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邱凱;李新化;鐘飛;尹志軍;劉敏;王玉琦 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J27/14;H01J37/08;H01J49/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230031*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 霍爾 離子源 | ||
1、一種霍爾型離子源，包括陰極燈絲(1)、位于離子源外套中的陽極(14)和密封法蘭，以及磁鐵(15)，其中，陽極(14)為柱狀體，其上部的內(nèi)腔為帶有進(jìn)氣口的陽極放電室(12)、下部置有水冷卻室，密封法蘭與柱狀體陽極(14)的底端間置有密封件(20)，并經(jīng)螺釘(21)相固定連接，其特征在于：
(a)所說離子源外套為屏蔽罩(6)，所說陰極燈絲(1)經(jīng)燈絲支架(2)和燈絲絕緣座(3)與屏蔽罩上蓋(4)固定連接；
(b)所說柱狀體陽極(14)帶有凸臺(23)，所說進(jìn)氣口為陽極進(jìn)氣口(13)，所說陽極進(jìn)氣口(13)為一只以上、且貫通所說柱狀體的側(cè)壁后位于所說陽極放電室(12)下部的側(cè)面，所說柱狀體下部的水冷卻室為陽極水冷腔(18)，所說陽極水冷腔(18)中置有軟鐵(16)和其上的磁鐵(15)；
(c)所說密封法蘭為陽極水冷腔密封法蘭(17)，所說陽極水冷腔密封法蘭(17)上對應(yīng)陽極水冷腔(18)的兩側(cè)處分別貫通焊接連接有冷卻水進(jìn)水管(10)和冷卻水出水管(9)，所說密封件(20)為金屬刀口法蘭或金屬絲密封圈；
(d)所說屏蔽罩(6)分別經(jīng)陽極上絕緣墊(5)、陽極下絕緣墊(7)與陽極(14)的凸臺(23)、陽極水冷腔密封法蘭(17)相抵觸連接，所說陽極下絕緣墊(7)中貫通連接有進(jìn)氣管(11)，所說進(jìn)氣管(11)的伸入屏蔽罩(6)內(nèi)的一端與所說陽極進(jìn)氣口(13)相接通。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是柱狀體的陽極(14)為圓柱狀體。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是陽極放電室(12)為錐形體或錐形多臺階體或柱狀體。
4、根據(jù)權(quán)利要求3所述的霍爾型離子源，其特征是陽極放電室(12)為圓錐形體或圓錐形多臺階體或圓柱狀體。
5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的霍爾型離子源，其特征是陽極(14)的表面覆有氮化鈦。
6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是陽極進(jìn)氣口(13)為均勻分布的8只。
7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是軟鐵(16)經(jīng)螺釘(19)與陽極水冷腔密封法蘭(17)固定連接。
8、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是螺釘(21)底部的陽極(14)上置有通孔(22)。
9、根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾型離子源，其特征是屏蔽罩(6)的底部為屏蔽罩下蓋(8)，所說屏蔽罩下蓋(8)經(jīng)螺釘與屏蔽罩(6)固定連接。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院，未經(jīng)中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610098167.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
