[發明專利]一種通過透反式零位光柵產生絕對零位對準標記的方法無效
| 申請號： | 200610096028.5 | 申請日： | 2006-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN1924711A | 公開（公告）日： | 2007-03-07 |
| 發明（設計）人： | 黃文浩;葉錫標;周成剛 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 合肥金安專利事務所 | 代理人： | 金惠貞 |
| 地址： | 230026*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 通過 反式 零位 光柵 產生 絕對 對準 標記 方法 | ||
【說明書】：
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