[發(fā)明專利]基板處理系統(tǒng)以及基板處理方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610094574.5 | 申請日： | 2006-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN1885170A | 公開（公告）日： | 2006-12-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 金子知廣;宮田亮 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張?zhí)彀?/td> |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 系統(tǒng) 以及 方法 | ||
【說明書】：
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