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[發明專利]半導體裝置及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200610093872.2 申請日: 2006-06-20
公開(公告)號: CN1909243A 公開(公告)日: 2007-02-07
發明(設計)人: 平瀨順司;瀨部紹夫;粉谷直樹;岡崎玄;相田和彥;竹岡慎治 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336;H01L21/28
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【權利要求書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖、流程工藝圖技術構造圖

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