[發明專利]控制金屬柵極疊層中平帶/閾值電壓的方法及其結構有效
| 申請號: | 200610093844.0 | 申請日: | 2006-06-20 |
| 公開(公告)號: | CN1885560A | 公開(公告)日: | 2006-12-27 |
| 發明(設計)人: | 雷賈拉奧·詹米;斯蒂芬·L·布朗;維杰伊·納拉亞南;瓦姆西·K·帕魯丘里;陳自強 | 申請(專利權)人: | 國際商業機器公司 |
| 主分類號: | H01L29/78 | 分類號: | H01L29/78;H01L29/51;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/314 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人: | 李曉舒;魏曉剛 |
| 地址: | 美國紐*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 控制 金屬 柵極 中平 閾值 電壓 方法 及其 結構 | ||
【權利要求書】:
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