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[發明專利]控制金屬柵極疊層中平帶/閾值電壓的方法及其結構有效

專利信息
申請號: 200610093844.0 申請日: 2006-06-20
公開(公告)號: CN1885560A 公開(公告)日: 2006-12-27
發明(設計)人: 雷賈拉奧·詹米;斯蒂芬·L·布朗;維杰伊·納拉亞南;瓦姆西·K·帕魯丘里;陳自強 申請(專利權)人: 國際商業機器公司
主分類號: H01L29/78 分類號: H01L29/78;H01L29/51;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/314
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 代理人: 李曉舒;魏曉剛
地址: 美國紐*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 控制 金屬 柵極 中平 閾值 電壓 方法 及其 結構
【權利要求書】:
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