[發明專利]基板檢查裝置及其參數設定方法和參數設定裝置有效
| 申請號： | 200610093124.4 | 申請日： | 2006-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN1885014A | 公開（公告）日： | 2006-12-27 |
| 發明（設計）人： | 森谷俊洋;和田洋貴;大西貴子;清水敦;仲島晶 | 申請（專利權）人： | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956;G01R31/309;G01B11/24;G06T7/00;H05K13/08 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃綸偉 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 裝置 及其 參數 設定 方法 | ||
【說明書】：
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