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[發明專利]用于FinFET的散熱結構及其制造方法有效

專利信息
申請號: 200610093072.0 申請日: 2006-06-20
公開(公告)號: CN1885564A 公開(公告)日: 2006-12-27
發明(設計)人: J·H·蘭金;B·A·安德森;W·F·小克拉克;E·J·諾瓦克 申請(專利權)人: 國際商業機器公司
主分類號: H01L29/786 分類號: H01L29/786;H01L27/12;H01L23/36;H01L21/336;H01L21/84
代理公司: 北京市中咨律師事務所 代理人: 于靜;劉瑞東
地址: 美國*** 國省代碼: 美國;US
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 finfet 散熱 結構 及其 制造 方法
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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