[發明專利]用于FinFET的散熱結構及其制造方法有效
| 申請號: | 200610093072.0 | 申請日: | 2006-06-20 |
| 公開(公告)號: | CN1885564A | 公開(公告)日: | 2006-12-27 |
| 發明(設計)人: | J·H·蘭金;B·A·安德森;W·F·小克拉克;E·J·諾瓦克 | 申請(專利權)人: | 國際商業機器公司 |
| 主分類號: | H01L29/786 | 分類號: | H01L29/786;H01L27/12;H01L23/36;H01L21/336;H01L21/84 |
| 代理公司: | 北京市中咨律師事務所 | 代理人: | 于靜;劉瑞東 |
| 地址: | 美國*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 finfet 散熱 結構 及其 制造 方法 | ||
【說明書】:
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