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[發明專利]半導體裝置及其制造方法以及半導體裝置的信息管理系統無效

專利信息
申請號: 200610092661.7 申請日: 2006-06-13
公開(公告)號: CN1881583A 公開(公告)日: 2006-12-20
發明(設計)人: 富永哲郎 申請(專利權)人: 株式會社東芝
主分類號: H01L27/02 分類號: H01L27/02;H01L23/544;H01L21/822;H01L21/78;H01L21/02;G06K19/06
代理公司: 永新專利商標代理有限公司 代理人: 胡建新
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法 以及 信息管理 系統
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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