[發明專利]機械手臂的無線三維位移校正系統

無效

• 申請號: 200610092585.X
• 申請日: 2006-06-16
• 公開（公告）號: CN101088717A
• 公開（公告）日: 2007-12-19
• 發明（設計）人: 楊盛華;梁家逢
• 申請（專利權）人: 力晶半導體股份有限公司
• 主分類號: B25J9/16
• 分類號: B25J9/16;H01L21/67;H01L21/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 魏曉剛;李曉舒

技術領域

本發明關于一種校正器，且特別關于一種機械手臂的無線三維(3D)位移校正系統。

背景技術

半導體制造廠在生產硅晶圓時，利用符合機械標準接口(StandardMechanical?Interface，SMIF)的機械手臂(Robot?Arm)自動將晶圓自晶圓盒(Front?Opening?Unified?Pod，FOUP)中取出，然后送入機臺以防止晶圓受到污染。

然而，機臺的機械手臂常因不同異常狀況而導致手臂前端的鋏子(Pincette)變形，因此設備人員必須隨時根據不同異常狀況對機械手臂進行調整以提高產品質量與生產效率。現行的調整方式是由人為主觀判定，但往往因為人員素質及認定上不同而產生不同的調機質量。其次，機臺的空間狹小，故無法容納身材較高大的設備人員。綜上所述，人員的主觀判定與身材會間接影響機臺復機的質量與時效。

因此，本發明提供了一種機械手臂的無線三維位移校正系統，可有效改善調機質量。

發明內容

基于上述目的，本發明實施例公開了一種機械手臂的無線三維位移校正系統，包括一無線三維位移監視傳感器與一校正器。該無線三維位移監視傳感器包括一電子水平傳感器，該電子水平傳感器具有一弧狀空間與一CCD傳感器。該弧狀空間的內部以液態物質填充且具有一氣泡。該傳感器用以感測該氣泡的位置。該校正器自該傳感器取得該氣泡的位置并且顯示在其顯示屏上，根據一預設標準范圍判斷一制作工藝設備是否呈現水平狀態，以及若非為水平狀態則計算出該制作工藝設備的偏移量。

本發明實施例還公開了一種機械手臂的無線三維位移校正系統，包括一三腳制作工藝板、一無線三維位移監視傳感器以及一校正器。該三腳制作工藝板具有三支腳位。該無線三維位移監視傳感器具有一光學尺，其設置在該三腳制作工藝板上方，其中當該光學尺為一雙光學尺，將其中一光學尺作為一發射端以發出細密平行光束，另一光學尺作為一接收端以收取光束信號。該校正器自該無線三維位移監視傳感器接收光束被遮斷的狀態并且顯示在其顯示屏上，并且經過運算后判斷該三腳制作工藝板的每一腳位的Z軸間隙是否超出一默認值。

本發明實施例還公開了一種機械手臂的無線三維位移校正系統，包括一制作工藝板、一無線三維位移監視傳感器以及一校正器。該制作工藝板上具有一中央記號。該無線三維位移監視傳感器設置在該制作工藝板上方，其具有一X-Y軸CCD監視傳感器傳感器。該X-Y軸CCD監視傳感器上定義有一標準記號，其將該中央記號的中心位置與該標準記號的中心位置進行比對。該校正器自該傳感器取得該中央記號的中心位置與該標準記號的中心位置的相對位置信息，并且根據該相對位置信息判斷該制作工藝板是否發生偏移，以及當發生偏移時計算出該制作工藝板的偏移量。

附圖說明

圖1為顯示本發明實施例的校正器的外觀示意圖。

圖2為顯示本發明實施例的無線3D位移監視傳感器的外觀示意圖。

圖3為顯示本發明實施例的無線3D位移監視傳感器的結構剖析示意圖。

圖4為顯示本發明實施例的電子水平傳感器的結構剖析示意圖。

圖5A為顯示本發明實施例的檢測機械手臂前端的鋏子的水平狀態的示意圖。

圖5B為顯示本發明實施例的檢測三腳位制作工藝板的水平狀態的示意圖。

圖5C為顯示本發明實施例的檢測制作工藝板的水平狀態的示意圖。

圖6A、圖6B為顯示本發明實施例的利用光學尺檢測Z軸間隙的示意圖。

圖7A、圖7B為顯示本發明實施例的利用X-Y軸CCD監視傳感器檢測X-Y軸偏移的示意圖。

圖8A、圖8B為顯示本發明實施例的利用電子水平傳感器檢測設備的水平狀態與利用校正器顯示水平狀態信息的示意圖。

圖9A～圖9C為顯示本發明實施例的光學尺檢測設備的Z軸間隙與利用校正器顯示間隙信息的示意圖。

圖10A～圖10C為顯示本發明實施例的利用X-Y軸CCD監視傳感器檢測設備的X-Y軸偏移與利用校正器顯示偏移信息的示意圖。

主要組件符號說明

100～校正器

200～無線3D位移監視傳感器

200’～無線3D位移監視傳感器的俯視圖

200”～無線3D位移監視傳感器的側視圖

200～無線3D位移監視傳感器的底視圖

210～電子水平傳感器

215～氣泡

2150～CCD傳感器

220～光學尺

230～X-Y軸CCD監視傳感器

235～標準記號