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[發明專利]用于加工基于懸臂的MEMS/CMOS存儲器儲存裝置的方法有效

專利信息
申請號: 200610090525.4 申請日: 2006-06-28
公開(公告)號: CN1983447A 公開(公告)日: 2007-06-20
發明(設計)人: 伊耶爾·巴-薩登;T-K·亞倫·周;瓦盧里·拉奧;克里舍納默西·穆拉利 申請(專利權)人: 英特爾公司
主分類號: G11C13/00 分類號: G11C13/00;B81C1/00;G06F15/00
代理公司: 北京嘉和天工知識產權代理事務所 代理人: 嚴慎
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 加工 基于 懸臂 mems cmos 存儲器 儲存 裝置 方法
【說明書】:
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