[發(fā)明專(zhuān)利]設(shè)計(jì)光罩布局與產(chǎn)生光罩圖案的方法和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610090053.2
• 申請(qǐng)日: 2006-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1904726A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周碩彥;許照榮;高蔡勝;林本堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/08
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/08;G03F7/00;H01L21/00
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝