[發(fā)明專(zhuān)利]環(huán)境掃描電鏡中電荷環(huán)境的測(cè)量方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610089512.5 | 申請(qǐng)日： | 2006-06-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1873400A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-12-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吉元;付景永;張隱奇;徐學(xué)東;王麗;韓曉東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N23/225 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 張慧 |
| 地址： | 100022*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 環(huán)境 掃描電鏡 電荷 測(cè)量方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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G01 測(cè)量；測(cè)試
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N23-00 利用未包括在G01N 21/00或G01N 22/00組內(nèi)的波或粒子輻射來(lái)測(cè)試或分析材料，例如X射線、中子
G01N23-02 .通過(guò)使輻射透過(guò)材料
G01N23-20 .利用輻射的衍射，例如，用于測(cè)試晶體結(jié)構(gòu)；利用輻射的反射
G01N23-22 .通過(guò)測(cè)量二次發(fā)射
G01N23-221 ..利用活化分析法
G01N23-223 ..通過(guò)用X射線輻照樣品以及測(cè)量X射線熒光
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N23-00 利用未包括在G01N 21/00或G01N 22/00組內(nèi)的波或粒子輻射來(lái)測(cè)試或分析材料，例如X射線、中子
G01N23-02 .通過(guò)使輻射透過(guò)材料
G01N23-20 .利用輻射的衍射，例如，用于測(cè)試晶體結(jié)構(gòu)；利用輻射的反射
G01N23-22 .通過(guò)測(cè)量二次發(fā)射
G01N23-221 ..利用活化分析法
G01N23-223 ..通過(guò)用X射線輻照樣品以及測(cè)量X射線熒光
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