[發(fā)明專利]雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法及裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610089082.7
• 申請日: 2006-08-02
• 公開（公告）號: CN101118199A
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣弘;吳健;陳強(qiáng)華;柳忠堯;李睿穎
• 申請（專利權(quán)）人: 北京市普銳科創(chuàng)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張濤

1、雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法，將激光器發(fā)出的一對正交雙頻激光進(jìn)行分光分成反射光和透射光；所述反射光和透射光兩路光中有一路光經(jīng)過改變偏振角后通過雙折射被測樣品測量點(diǎn)，其特征在于該路光折返再通過所述被測樣品測量點(diǎn)，使光束中兩個(gè)頻率的偏振分量的相位發(fā)生不同的延遲，引起相位變化；然后使兩路光在分別經(jīng)過檢偏器合成后，分別轉(zhuǎn)化為具有不同相位差的參考拍頻信號和測量拍頻信號；至少獲得兩次相位差，就可計(jì)算出測量點(diǎn)相位延遲量及快軸方向；記錄下每個(gè)被測樣品測量點(diǎn)參考拍頻信號和測量拍頻信號的相位差，通過計(jì)算即可得到被測樣品的相位延遲量和快軸方向。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法，其特征在于所述被測樣品測量點(diǎn)可以是誤差允許范圍內(nèi)的測量區(qū)域。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法，其特征在于所述光的折返是在穿過被測樣品的光路中被測樣品之后依次設(shè)置會聚透鏡和平面鏡實(shí)現(xiàn)或者采用角錐棱鏡實(shí)現(xiàn)或者采用空心角隅棱鏡實(shí)現(xiàn)。

4、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法，其特征在于所述至少兩次相位差是指在被測樣品前的光路上設(shè)置二分之一波片，所述透射光正向、反向經(jīng)過該波片，使該波片主軸分別位于至少兩個(gè)角度時(shí)獲得至少兩次相位變化從而得到參考拍頻信號和測量拍頻信號的至少兩次相位差來實(shí)現(xiàn)的。

5、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙折射光學(xué)器件相位延遲量及快軸方向的測量方法，其特征在于所述至少兩次相位差的實(shí)現(xiàn)方法為：在被測樣品前的光路上設(shè)置二分之一波片，且所述二分之一波片部分地位于光路中，使所述透射光的一部分經(jīng)過該波片，則經(jīng)過所述被測樣品測量點(diǎn)的透射光包含有改變偏振角和未改變偏振角的兩部分，然后在檢偏器合成前將該路光的兩部分分開，再分別經(jīng)過檢偏器，得到的兩個(gè)測量拍頻信號分別與參考拍頻信號對比形成兩次相位差。

6、采用權(quán)利要求1-5之一所述測量方法的測量裝置，其特征在于包括在雙頻激光器發(fā)射光路上設(shè)置的一個(gè)分光鏡，在所述分光鏡透射方向上依次設(shè)置的二分之一波片、被測樣品、會聚透鏡和平面反射鏡，及在該分光鏡的反射光方向及其反方向上各設(shè)置的檢偏器，所述檢偏器分別與光電轉(zhuǎn)換裝置相連后再與計(jì)算裝置相連；所述平面反射鏡設(shè)置在會聚透鏡的焦平面上。

7、根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量裝置，其特征在于所述測量裝置中的會聚透鏡和平面反射鏡可置換為角錐棱鏡或空心角隅棱鏡。

8、根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的測量裝置，其特征在于所述二分之一波片部分地位于光路中，使所述透射光的一部分經(jīng)過該波片，并在所述分光鏡的反射光方向的反方向設(shè)置一個(gè)楔形反射鏡，把從分光鏡返回的光束分為兩半，分別為偏振角改變和未改變的光束，在分開的光束的光路上再分別設(shè)置一個(gè)檢偏器。