[發明專利]二步光刻法制作GaN基LED的制備方法無效
| 申請號： | 200610088996.1 | 申請日： | 2006-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN1889281A | 公開（公告）日： | 2007-01-03 |
| 發明（設計）人： | 鄒德恕;顧曉玲;沈光地 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產權代理有限公司 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100022*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 法制 gan led 制備 方法 | ||
【說明書】：
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