[發明專利]天線制造方法和半導體裝置制造方法有效
| 申請號： | 200610088604.1 | 申請日： | 2006-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN1874060A | 公開（公告）日： | 2006-12-06 |
| 發明（設計）人： | 青木智幸;山田大干 | 申請（專利權）人： | 株式會社半導體能源研究所 |
| 主分類號： | H01Q1/00 | 分類號： | H01Q1/00;H01Q1/38;G06K19/07;G06K19/073;G06K19/077;H01L27/12;H01L29/786;H05K1/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張雪梅;梁永 |
| 地址： | 日本神奈*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 天線 制造 方法 半導體 裝置 | ||
【權利要求書】：
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