[發明專利]等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 200610084697.0 | 申請日： | 2006-05-30 |
| 公開（公告）號： | CN1882217A | 公開（公告）日： | 2006-12-20 |
| 發明（設計）人： | 富田泰光;海野豐 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H05H1/00 | 分類號： | H05H1/00;H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 | 代理人： | 張敬強 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 處理 裝置 | ||
【說明書】：
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