[發(fā)明專利]法拉第系統(tǒng)和包括該法拉第系統(tǒng)的離子注入設備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610084625.6 | 申請日： | 2006-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN1937166A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 樸炳鉉 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/147;H01J37/304;H01L21/265 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 | 代理人： | 林宇清;謝麗娜 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 法拉第 系統(tǒng) 包括 離子 注入 設備 | ||
【說明書】：
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